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深圳锐诚真空技术有限公司
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深圳锐诚真空(图)-真空检漏设备公司-真空检漏设备

发布时间:2020-09-28 02:59:19        

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视频作者:深圳锐诚真空技术有限公司





真空设备检漏

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如何判断真空系统是否存在漏气,通常采用静态升压法,即把容器抽到一定压强后,关闭阀门将被抽容器与泵隔开,若容器漏气或材料放气,容器中的压强将随时间而上升。用真空计每隔一定时间计量一次容器中的压强,可得出压强/时间曲线。由于容器的漏气与出气情况不同,其曲线也不同

1.直线A

压强不随时间变化,说明系统即不漏气,也不放气。真空度上不去的原因是泵工作不良。

2.直线B

压强期初上升很快,而后上升速度渐渐减慢而趋于平衡,这说明容器没有漏气。真空度上不去的原因主要是放气的影响。因为放气速率随压强的升高和时间的延长而降低,故曲线渐趋向于平衡。

3.直线C

是一斜率为ΔP/Δt的直线。这说明只有漏气而没有放气。

4.曲线D

开始压强上升较快,而后渐渐减慢,后变成斜率为ΔP/Δt的直线。这说明容器即有放气也有漏气。曲线D可以认为是B和C的叠加。如果出现曲线C和D的情况,则判定系统有漏气。


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真空自耗电弧炉熔炼作为公司核级锆材生产的第Yi道工序,其要求的真空度及漏气率非常严格,真空检漏设备公司,只有当漏气率达到0.65 Pa/min 以下才允许熔炼,由于真空自耗电弧炉真空部分包括前级真空泵、大小罗茨泵、真空管道以及上炉室和坩埚部分,真空炉室部分容积大,漏点多的特点,任何一个地方发生微小的漏气都可能造成真空度降低而无法满足熔炼工艺要求,因此认为采用上述充压检漏法显然是无法达到检测要求的,通常采用借助于系统自身的真空系统的真空检漏法,目前分厂主要采用氦质谱检漏仪来检测电弧炉的漏点。

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如何选择检漏方式,与检测对象的工作环境有很大关系,尽量做到与检测对象的工作状态一致。如检测对象工作时内部处于正压,则用正压模式,如检测对象工作时内部处于负压,则用真空模式。HLT260型氦质谱检漏仪具有嗅探和抽真空2种检漏模式,即正压模式和负压模式。详细检漏方法与测量工作过程如下:

在抽真空方式下,待检漏的器件通过测试端口与检漏仪相连,

待测器件被检漏仪内部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空(如果待测器件容积较大,则需额外的泵组一起协同作业以提高xiao率)。只需测量待测器件外部大气通过器壁的漏孔进入器件内部的氦的多少便可以判断漏率的大小。如果需要得到精que的漏率数值,则必须等待整个测量系统的真

空达到稳态,

并预先根据环境中氦的含量对检漏仪进行标定。若需在抽真空方式下准确地找到漏孔的

位置,可以通过对可yi位置喷氦并检验漏率是否有明显的上升来完成。

与抽真空方式相反,嗅探方式是通过测量待测器件内部气体经由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少来获得漏率的大小的。预先向待测器件内充入一定氦气,

封闭测试端口,将嗅探探头连接至检漏仪,用嗅探探头对待测器件表面的可yi部位进行扫描。如果发现漏率明显的上升,便可判断漏孔的位置。这种方式适合在待测器件内部无法或者不能抽真空的情形下检漏。但是,由于嗅探方式是通过检测器壁外的大气来进行测量的,真空检漏设备哪里有,大气中的氦会带来一个较高的漏率本底。这个本底虽可通过置零来清除,但仍会降低嗅探方式的灵敏度(嗅探方式xiao可检测漏率小于5×10-6Pa·L/s,而抽真空方式的小于5×10-10Pa·L/s)。


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